Abstract: . . .  Gassensor nach dem Prinzip der Austrittsarbeit, Patentschrift DE 19981014857, 1999 [Dol95] T. Doll, Aufbau und Einsatz von hybriden Suspended Gate FeldeffektTransistoren (HSGFET), Dissertation der Universität der Bundeswehr München, 1995 [Dol98] T. Doll, Mikrosensoren auf der Basis der Austrittsarbeitsmessung, Habilitationsschrift der Universität der Bundeswehr München, 1998 [Eis93] I. Eisele, B. Flietner, K. Doll, Hybrid manufacture of air gap an gate of Suspended Gate FET without using spacers producing . . .
. . .  2001 [Ham91] E. Hammerl, F. Wittmann, J. Messarosch, I. Eisele, V. Huber, H. Oppholzer, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220, 27, 1991 [Han94] W.N. Hansen, K.B. Johnson, Work function measurement in gas ambient, Surface Science, 373, 1994 [Hau74] [Hon03] K. Hauffe, S. R. Morricon, Adsorption, de Gruyter Berlind, 1974 Honeywell, PH-Messonden und Amaturen, Produktbereich Prozessinstrumente, www.honeywell.de, 2003 [Hop64] B. J. Hopkins, J.C. Rivière, Work function values from contact potential difference measurements, . . .
. . .  denn eine grundsätzliche 22 Im Deutschen werden die Begriffe "Stabilität" und "Hysterese" noch getrennt betrachtet, weil man auch die Hysteresen teilweise noch in die Kompensationsberechnungen einbeziehen kann. 111 Schwierigkeit der Mikrosensoren auf Transistor-Basis besteht darin, das adsorptionsbedingte Austrittsarbeitsänderungen nicht absolut, sondern stets relativ in Bezug auf die Passivierungsschicht gemessen werden. Die Arbeit hat gezeigt, dass die Qualität der Gasmessung ganz entscheidend von . . .
. . .  Substanzen nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung, Patentanmeldung E 2320-001, 2001 [Zim01] M. Zimmer, I. Eisele, W. Voigt, Gassensensor und Verfahren zur Detektion von Wasserstoff nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gassensors, Patentanmeldung E 2320-002, 2001 [Zim01] M. Zimmer, M. Burgmair, K. Scharnagl, A. Karthigeyan, T. Doll, I. Eisele, Gold and platinum as ozone sensitive layer in work-function gas sensors, Sensors and Actuators . . .
. . .  hat bereits wieder 90 % der Anfangssignalhöhe. Nachdem alle Quergase bis auf Ammoniak geringe und nahezu reversible Gasreaktion zeigen, wurde Ammoniak noch einmal näher untersucht. Abbildung 6.11 zeigt drei unterschiedliche Sensoren bei abwechselnder Wasserstoff- und Ammoniakbeaufschlagung. Dabei zeigt sich, dass 500 ppm Ammoniak ein Signal in der Höhe von 30 % des Wasserstoffsignals (10.000 ppm) hervorruft und das die dauerhafte Beaufschlagung mit dieser hohen Ammoniakkonzentration den Sensor leicht . . .
. . .  Betreuung vieler Vorträge und Veröffentlichungen. Meinen Mitstreitern in der Sensorik-Gruppe, Markus Burgmair und Klaus Scharnagl danke ich für die interessante Zusammenarbeit. Ich danke Frau Elena Grüner und Karin Bächle für die freundliche Atmosphäre und die nette Unterstützung in allen organisatorischen Fragen. 120 121  . . .
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