Abstract: . . .  Lebensdauerwerte von einigen Mikrosekunden oder weniger vorliegen. Wie bei den anderen Materialien findet man auch hier eine streifenartige Struktur in den ortsaufgelosten Darstellungen der Volumenlebensdauern, so dass diese als charakteri- stisches Merkmal vertikal gezogener, multikristalliner Siliziumfolien angesehen werden kann. Aus Bereichen vergleichsweise hoher und niedriger Lebensdauer wurden Proben entnommen und Hall-Messungen an ihnen durchgefuhrt, um zuuberprufen, ob in den verschiedenen Folienarten . . .
. . .  von einigen Mikrosekunden oder weniger vorliegen. Wie bei den anderen Materialien findet man auch hier eine streifenartige Struktur in den ortsaufgelosten Darstellungen der Volumenlebensdauern, so dass diese als charakteri- stisches Merkmal vertikal gezogener, multikristalliner Siliziumfolien angesehen werden kann. Aus Bereichen vergleichsweise hoher und niedriger Lebensdauer wurden Proben entnommen und Hall-Messungen an ihnen durchgefuhrt, um zuuberprufen, ob in den verschiedenen Folienarten eine . . .
. . .  vorliegenden Arbeit wurde neben dem Strom gleichzeitig ortsaufgelost die Reflexion bestimmt. Mit den gewonnenen Daten lasst sich gemaß den Ausfuhrungen in Abschnitt 3.2.1 eine ortsaufgeloste Darstellung der IQE erstellen. 3.3 Anpassung der Getterschritte Multikristallines Silizium und insbesondere Folienmaterialien weisen im Vergleich zu monokristallinem Silizium eine erhohte Zahl von strukturellen Defekten und Verun- reinigungen auf. Letztere konnen gemaß der Shockley-Read-Hall-Rekombination die Lebensdauer . . .
. . .  verschiedenen Materialien wieder. Abb. 2.9 illustriert die Kurvenverlaufe fur die Proben mit vergleichsweise hoher Lebensdauer. Abgesehen von den Proben aus dem sehr defektreichen Zylinder-EFG (vgl. Ab- schnitt 2.1.3) und der SR-Probe guter Qualitat zeigen alle Si-Folien bei Raumtempe- ratur einenahnlichen Wert fur die Hall-Beweglichkeit von etwa 280 cm 2 V s . Dieser liegt sogar nochuber dem der Referenz aus hochreinem FZ-Silizium, was auf den gerin- geren spezifischen Widerstand der FZ-Probe von 1,25?cm zuruckzufuhren . . .
. . .  SR-Silizium wurde der Standardprozess um diese 67 Page 70 3. SOLARZELLENPROZESSIERUNG Prozessschritte erweitert. Auf diese Weise konnte im Fall des EFG-Materials (neue Qualitat) ein Wirkungsgrad von 10,0% (ohne ARC, mit DARC hochgerechnet 14,6%) und fur SR-Silizium von 9,9% (ohne ARC, mit DARC hochgerechnet 14,5%) erzielt werden. 68  . . .
. . .  ist jedoch nicht moglich. Nach Anpassung der Getterparameter sowie der Wasserstoffpassivierung an die Materialeigenheiten von EFG- und SR-Silizium wurde der Standardprozess um diese 67 Page 70 3. SOLARZELLENPROZESSIERUNG Prozessschritte erweitert. Auf diese Weise konnte im Fall des EFG-Materials (neue Qualitat) ein Wirkungsgrad von 10,0% (ohne ARC, mit DARC hochgerechnet 14,6%) und fur SR-Silizium von 9,9% (ohne ARC, mit DARC hochgerechnet 14,5%) erzielt werden. 68  . . .
--3000,6,250,3275,162850